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반도체 공정과 시뮬레이션 학습에 관한 글.
SiO₂ 하드마스크로 언더컷 만들기 — 습식 등방 식각 14단계 사용 가이드
세미팹AI 미니팹 습식 등방 언더컷(SiO₂ 하드마스크) 시나리오. BOE로 창을 열고 H₃PO₄로 Al을 등방 식각해 마스크 처마와 사발 캐비티를 만드는 과정을, 조절할 파라미터와 결과 읽는 법까지 정리한 사용 가이드입니다.
·6분 읽기·미니팹습식 식각등방 식각SiO₂ 하드마스크언더컷식각 선택비
반디는 왜 'LLM 챗봇'이 아니라 'Kernel 위의 에이전트'로 설계됐나
세미팹AI의 반도체 공정 튜터 반디는 LLM 하나 붙인 챗봇이 아니라, 그 위에 Kernel 구조를 얹어 설계됐습니다. 상황·기억·상태를 관리하는 9개 관리자, 근거 기반 응답 원칙, 기본형·심화형 능력 맵과 로드맵까지 정리했습니다.
·7분 읽기·반디세미팹AILLM 에이전트Kernel 구조AI 반도체 튜터자율실험실
금속 리프트오프 미니 플로우 사용 가이드 — 11단계를 무엇을 보며 돌릴 것인가
세미팹AI 미니팹 Metal Lift-off Mini Flow. Si→SiO₂→Al 금속 라인(5µm)을 리프트오프(가법)로 만드는 11단계를, 각 단계에서 볼 것·결과 숫자 읽는 법·두 번째 실행부터의 실습 시나리오까지 정리한 사용 가이드입니다.
·9분 읽기·미니팹반도체 공정 시나리오Metal Lift-off Mini Flow금속 리프트오프4점 탐침 면저항
미니팹으로 돌려보는 첫 시나리오 — Metal Pattern Mini Flow 사용 가이드
세미팹AI 미니팹의 첫 시나리오 Metal Pattern Mini Flow. Si→SiO₂→Al 금속 라인(5µm) 구조를 13단계로 만들고 저항으로 검증하는 표준 팹 플로우의 목적·사용법·결과 리포트 읽는 법을 정리합니다.
·7분 읽기·미니팹반도체 공정 시나리오Metal Pattern Mini Flow금속 패턴공정 흐름 실습
반도체 계측 장비 5가지 — 만든 공정을 어떻게 확인하나
단차계·광학현미경·4-Point Probe·LCR 미터·SEM. 미니팹에서 쓰는 계측 장비 5가지를 "공정 조건으로 예측 → 장비로 실측 → 차이 분석" 관점으로 정리합니다.
·8분 읽기·반도체 계측반도체 공정 측정단차계SEM4-point probe미니팹
반도체 8대 공정 순서 — 왜 이 순서이고 무엇을 조절하나
반도체 8대 공정(산화·포토·식각·증착·이온주입·확산·금속배선·EDS)이 왜 이 순서로 배치되는지 열예산 개념으로 풀고, 각 공정의 핵심 변수와 반복 루프 구조를 정리합니다. 시뮬레이터로 어디까지 직접 다룰 수 있는지도 함께 짚는 반도체 공정 입문 가이드입니다.
·8분 읽기·반도체 8대 공정반도체 공정 순서반도체 공정 입문산화 포토 식각 증착열예산반도체 교육
LPCVD PECVD 차이 — 온도가 가르는 박막 증착 공정
같은 SiO₂인데 LPCVD는 400~800°C 고온 배치로, PECVD는 200~400°C 저온 플라즈마로 올립니다. Arrhenius 증착 속도와 thermal budget으로 두 CVD 박막 증착 공정의 차이와 선택 기준을 정리합니다.
·8분 읽기·LPCVDPECVDCVD 박막 증착저온 증착thermal budget반도체 공정 시뮬레이션
반도체 공정 시뮬레이터로 배우는 법 — 감각을 채우는 학습 가이드
책으로 반도체 공정을 배우면 식은 알아도 파라미터 감각이 비어 있습니다. 온도·도즈·압력을 직접 만지는 반도체 공정 시뮬레이터를 3단계 학습 흐름과 기관 수업 구성에 어떻게 끼워 넣을지, 모듈별 추천 학습 시간까지 정리합니다.
·7분 읽기·반도체 공정 시뮬레이터반도체 교육반도체 공정 학습시뮬레이션 실습학습 가이드